Микроскопы серии Hitachi Regulus SU8000 конструктивно выполнены в «semi-in-lens» дизайне, источником электронов служит электронная пушка с холодным полевым катодом. Это сочетание позволяет исследовать большие образцы и добиваться при этом разрешения 1,0 нм. Благодаря использованию холодного источника электронов, при уменьшении ускоряющего напряжения, разрешение снижается незначительно.
Дополнительный детектор позволяет получить контраст по составу поверхности. Благодаря улучшенному детектированию сигнала может отображаться самый верхний слой поверхности. Устранение заряда позволяет наблюдать непроводящие образцы.
Широкий монитор (24,1 дюйма, с разрешением 1920 х 1200) для более удобного наблюдения и управления. Благодаря использованию революционной технологии работы автоэмиссионных пушек, не требуется проведение регулярного флэшинга катода, и повышается стабильность тока пучка.
